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제품상담

RIE system 문의

신동석 | 2019.05.03 13:42 | 조회 439
안녕하세요.

성균관대학교 에너지과학과 박사과정 신동석입니다.

귀사의 RIE system을 사용하고 있는데 궁금한 점이 있어서 문의 드립니다.

장비에 진공을 잡은뒤 Vent를 할 때 N2가스가 들어가는 방식입니다. 이때 순간적으로 N2가 세게 들어가면서 Vent되어 시료가 떨어져 나가는 현상이 발생합니다. 시료는 탄소나노섬유이기 때문에 바닥에 붙일 수 없는 상태입니다.

따라서 Vent할 때 가스 조절을 패널에서 할 수 있는지 궁금합니다.

혹은

에칭 가스 (ex. Ar)를 흘려주어 대기압 상태로 만들어 준 뒤 챔버를 open하고 싶은데

펌프와 함께 interlock이 걸려있어서 interlock을 풀 수 있는 방법이 있을까요?

연락기다리고 있겠습니다.

감사합니다.
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