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업계동향

PE-RIE(표면처리&식각) UNIST 석상일 교수님 태양전지 실험실에서도 사용 중

관리자 | 2016.12.19 12:13 | 조회 373

PE-RIE System 자료입니다.

 

플라즈마 표면처리와 Etching(식각)을 함께 할 수 있는 장비로써 Soft PR 제거 공정도 가능한 장비입니다.


Graphene, 나노, 소자, 등 연구에 적용 가능하고 UNIST 석상일 교수님 실험실의 태양전지 실험실에도 사용하고 계십니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!

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