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업계동향

PE-RIE(표면처리&Ashing&식각) System

관리자 | 2016.12.19 12:13 | 조회 548

PE-RIE System 자료입니다.


연구하실 때 표면 Cleaning 또는 표면 개질 후 Etching을 진행하는 것이 보통입니다.

장비가 2대 필요하지만 저희 장비는 1대로 사용 가능하면 가격적으로 2대 구매하시는 것보다 저렴합니다.

한 장비에서 다른 장비로 옮겨 공정을 진행할 때에는 고이에 시료가 노출 되지만 저희 장비를 사용하면 시료를 공기에 노출을 시키지 않고 가능합니다.

 

플라즈마 표면처리, Cleaning과 Etching(식각)을 함께 할 수 있는 장비로써 Soft PR Ashing(제거) 공정도 가능한 장비입니다.


Graphene, 나노, 소자, 등 연구에 적용 가능합니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!

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