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업계동향

특화된 RIE(식각기)_성균관대 이영희,서울대 이탁희,한양대 정진욱 교수님 등 많이 공급 중

관리자 | 2018.12.03 14:17 | 조회 105

반도체, 소자, 나노, 그래핀(Graphene), 고분자, 등의 식각(에칭)에 적용되는 장비로 다양한 고객에게 납품되어지고 있습니다.


특화된 RIE System은 특히 Graphene, 신소재, 나노, 소자 관련 연구에 필수적인 장비입니다.


요즘 Graphene 연구하시는 분들이 많이 문의하고 있습니다.


정형화 시켜 타사 대비 저렴한 가격으로 판매 되고 있습니다.


성균관대학교 물리학과 이영희 교수님, 서울대학교 물리학과 이탁희 교수님, 서울대학교 융합과학기술대학원 김창순 교수님, 한양대학교 플라즈마 원천 기술 및 공정 연구하시는 정진욱 교수님, KIST, UNIST, DGIST, 인하대학교, 울산대학교, 등 많이 납품되었습니다.


올포시스템은 다른 진공 장비 업체와 달리 과거에 원익아이피에스, 주성엔지니어링의 장비 개발에 참여했고 현재 양산용 반도체 장비를 제작하는 기업에 ICP Plasma Source Module을 공급하고 있습니다.


진공 플라즈마 장비를 제작하는 회사들이 있지만 같은 RIE 장비라도 조금씩 그 결과의 차이가 있습니다.


Sample Test를 할 수 있는 진공 장비 제작 업체는 없습니다.


그래서 올포시스템은 실제로 납품한 곳의 담당자 분, 실험(연구)실을 연결해 드리고 올포시스템의 장비에 대해서 직접 문의하시고 확인하시라고 합니다. 왜냐하면 실제로 사용하시는 분들의 말씀이 장비 구매하시는데 확실하게 판단을 하실 수 있기 때문입니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!


팀장 강신석

010-4064-6650

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