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업계동향

테스, 반도체용 차세대 초임계 세정장비 개발 '스타트'…세계 첫 시도

관리자 | 2020.07.20 14:01 | 조회 82

https://www.etnews.com/20200716000169


ICP-CVD 성균관대학교 기계공학부 김태성 교수님 연구실에서 사용하고 있습니다.

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