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업계동향

그래핀 세계최초_RIE System_성균관대 이영희 교수님 연구실

관리자 | 2020.07.28 16:02 | 조회 68

이영희 기초과학연구원(IBS) 나노구조물리연구단장 연구팀은 4층짜리 ‘다층(多層) 그래핀’을 넓고 고르게 합성하는 방법을 세계 최초로 개발했다고 28일 밝혔다


https://biz.chosun.com/site/data/html_dir/2020/07/27/2020072703251.html?utm_source=naver&utm_medium=original&utm_campaign=biz


RIE(식각: Etching) System을 소개합니다.


Graphene, ()소재, 반도체, 소자, 등의 연구에 


성균관대 물리학과 나노구조물리연구단 이영희 교수님, KIST 전북 분원, UNIST, DGIST, 한양대학교(플라즈마 및 공정 연구실), 인하대학교, 울산대학교, 등에 납품을 했습니다


최근에는 서울대 물리학과 이탁희 교수님, 서울대 융합과학기술대학원 김창순교수님 연구실에 RIE(식각: Etching) System을 납품 했습니다.


 ICP-RIE System을 소개합니다.


다른 회사의 연구개발용 ICP-RIE System이 있지만 저희 장비는 다른 회사 보다 가격이 동등하거나 그 이하 입니다.


2018년에 R&D 기술력을 인정받아 삼성전자생산기술연구소에서 수주를 받아서 납품을 했습니다.


납품처는 KIST, KAIST, 한양대학교, 성균관대학교, 부산대학교, 아주대학교, KEC, 등 연구원, 대학교 실험실, 일부 양산 업체에 납품을 하였습니다.


올포시스템은 다른 진공 장비 업체와 달리 과거에 원익아이피에스, 주성엔지니어링의 장비 개발에 참여했고 현재 양산용 반도체 장비를 제작하는 기업에 ICP Plasma Source Module을 공급하고 있습니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!


팀장 강신석

010-4064-6650



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